壓(yā)力(lì)變送器是(shì)工業實踐中最為(wéi)常用的一種傳感器,其廣泛應用於各種工(gōng)業自(zì)控(kòng)環(huán)境,涉及水(shuǐ)利水電、鐵(tiě)路交通、智能建築、生產自控、航(háng)空航天、軍工、石化、油(yóu)井、電力、船舶、機(jī)床、管道等(děng)眾多行業(yè),下麵就簡單介紹(shào)一些常(cháng)用壓力變送(sòng)器的原(yuán)理及其應用(yòng)
1、應變(biàn)片(piàn)壓力變送器原理與應用
力學傳感器的種類繁多,如電阻應變(biàn)片壓力變送器、半導體應(yīng)變(biàn)片壓力變送器、壓(yā)阻式壓力變(biàn)送器、電感式壓力變送器、電(diàn)容式(shì)壓力變送(sòng)器、諧振(zhèn)式壓(yā)力變送器(qì)及電容(róng)式加(jiā)速度傳(chuán)感(gǎn)器等。但應用最為(wéi)廣(guǎng)泛的是(shì)壓阻式壓力變送器,它具有極低的價格和(hé)較高的精度(dù)以(yǐ)及(jí)較好的(de)線性特性(xìng)。下麵(miàn)我們主要介紹這類傳感器。
在了(le)解壓阻(zǔ)式(shì)壓力變(biàn)送(sòng)器時,我(wǒ)們首先認識一(yī)下電阻應(yīng)變片(piàn)這種(zhǒng)元件。電(diàn)阻應(yīng)變片是一種將(jiāng)被測件上的應變變(biàn)化轉換成為一種電信號的敏感(gǎn)器(qì)件。它是壓阻(zǔ)式應變變送(sòng)器的主要組成部分之一(yī)。電阻應變(biàn)片應用最多的是金屬電阻應變片和半導體應(yīng)變片兩(liǎng)種。金屬電阻應變片又有(yǒu)絲狀應變片和金(jīn)屬箔狀應(yīng)變片兩種。通常(cháng)是將應變片通過特殊(shū)的粘和劑緊密(mì)的粘合(hé)在(zài)產(chǎn)生力學(xué)應變基體上,當基體受力發(fā)生應力變化時,電阻(zǔ)應(yīng)變片(piàn)也(yě)一起產生形變,使應變(biàn)片的阻值發生改變(biàn),從而使加在電阻上的電(diàn)壓發生變(biàn)化。這種應變片在受力時產(chǎn)生的阻值變(biàn)化(huà)通常較小,一(yī)般這種應(yīng)變片(piàn)都組成應變電橋,並通過後(hòu)續的(de)儀(yí)表放大器進行(háng)放大,再(zài)傳輸給處(chù)理電路(通常是A/D轉(zhuǎn)換和CPU)顯示或執(zhí)行機構(gòu)。
金屬電阻應變片的內部結構
如圖(tú)1所示,是電(diàn)阻(zǔ)應變(biàn)片的結(jié)構(gòu)示意圖,它由(yóu)基體材(cái)料、金屬應變絲或應變箔、絕緣保護片和引(yǐn)出線等部(bù)分組成。根據不(bú)同的用途,電阻應變(biàn)片的阻值可以由設計者設計,但(dàn)電阻(zǔ)的取值範圍應注意:阻值太小,所需(xū)的驅動電(diàn)流太大(dà),同時(shí)應變片的(de)發熱致使(shǐ)本身(shēn)的溫度(dù)過高,不同的環境中使用,使應變片的阻(zǔ)值變化太(tài)大,輸出(chū)零點漂移(yí)明顯,調零電路過(guò)於複雜。而電阻太大,阻抗太高,抗(kàng)外界的電磁幹擾能力較差。一般(bān)均為幾十歐至幾十千歐左右(yòu)。
電阻應變片的工作(zuò)原理(lǐ)
金屬電阻應變片的工作原理是吸附在基體(tǐ)材料上(shàng)應變電阻隨機(jī)械形變而產生阻值變化的現(xiàn)象,俗稱為(wéi)電阻應(yīng)變效應。金(jīn)屬(shǔ)導體的電阻(zǔ)值可用(yòng)下式表(biǎo)示:
式中:
ρ——金屬導(dǎo)體的電阻率(Ω?cm2/m)
S——導體的截(jié)麵積(cm2)
L——導(dǎo)體的長度(m)
我們以金(jīn)屬絲應變電阻為例,當金屬絲受外力作用時,其長度和截(jié)麵積都會發生變化,從上式中可(kě)很容易(yì)看出,其電(diàn)阻值(zhí)即會發生改變,假(jiǎ)如金屬(shǔ)絲受外力作用而伸(shēn)長時,其長度增加,而截麵積減少,電阻值便會增大。當金屬絲受外力(lì)作用而(ér)壓縮(suō)時,長度減小而截(jié)麵增加(jiā),電阻(zǔ)值則會減小。隻要(yào)測出加(jiā)在電阻的變化(通常是(shì)測量電阻兩端的電壓),即可(kě)獲得應變金屬絲(sī)的應變情(qíng)
2、陶瓷壓力變送器原理及應(yīng)用
抗腐蝕的壓力變送器沒有液體的(de)傳遞,壓力直(zhí)接作用(yòng)在(zài)陶瓷(cí)膜片的前表麵,使膜片產生微小的形變,厚膜電阻印(yìn)刷在(zài)陶瓷膜片的背麵,連接(jiē)成(chéng)一(yī)個惠斯通電橋(閉橋),由於(yú)壓敏電阻的壓(yā)阻效應,使電橋產生一個(gè)與壓力成正比的高度線性(xìng)、與激勵電壓也成正比的電壓(yā)信號,標準(zhǔn)的信號根據壓力量程(chéng)的(de)不同標定(dìng)為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和應變式傳(chuán)感器(qì)相兼(jiān)容。通(tōng)過激光標定,傳感器具有很(hěn)高的溫(wēn)度穩定性和時間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補償0~70℃,並可以和(hé)絕(jué)大(dà)多數介(jiè)質直接接觸。
陶瓷是一種公認的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗(kàng)衝擊和振動(dòng)的(de)材料。陶(táo)瓷的熱穩定(dìng)特(tè)性及它的厚膜(mó)電阻(zǔ)可(kě)以(yǐ)使它的工作溫(wēn)度範圍高達-40~135℃,而且具有測量的高精度、高穩定性。電氣絕緣程度>2kV,輸出信(xìn)號強,長期穩(wěn)定性好。高特性,低價格的陶瓷傳感器將是壓力變送器的(de)發展(zhǎn)方(fāng)向,在歐美國家有全麵替(tì)代其它(tā)類型(xíng)傳感器的趨勢,在中國也(yě)越來越多的用戶使用(yòng)陶瓷傳感器替代擴(kuò)散矽壓力變送器。
3、擴散(sàn)矽壓力變送器(qì)原理及(jí)應用
工(gōng)作原理
被測介質的壓力直(zhí)接(jiē)作用於傳感器的膜片上(shàng)(不鏽鋼或(huò)陶瓷),使(shǐ)膜片產(chǎn)生與介質壓力成正比的微位移,使傳(chuán)感器的(de)電阻(zǔ)值(zhí)發生變化,和用電子線路檢測(cè)這一變(biàn)化,並轉換輸出一個對應於(yú)這一壓力的標(biāo)準測量(liàng)信(xìn)號。
4、藍寶(bǎo)石壓力變送器原理(lǐ)與應用
利用應變電阻式工作原理,采用矽-藍寶石(shí)作為(wéi)半(bàn)導體敏(mǐn)感元件,具有無(wú)與倫比的計量(liàng)特性。
藍寶石係由單晶(jīng)體絕緣體元素(sù)組成,不(bú)會發生(shēng)滯後(hòu)、疲(pí)勞和蠕變現(xiàn)象;藍寶石比矽(guī)要堅固,硬度更高(gāo),不(bú)怕(pà)形變(biàn);藍(lán)寶石有著非常好的彈(dàn)性和絕緣特性(1000 OC以(yǐ)內(nèi)),因此,利用矽-藍寶石製造(zào)的半導體敏感(gǎn)元件,對溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也(yě)有著很好的工作特(tè)性;藍寶石的抗輻射特性極(jí)強;另(lìng)外,矽-藍(lán)寶石半導體敏感元(yuán)件,無p-n漂移,因此(cǐ),從根(gēn)本上簡化了製造工(gōng)藝,提高了(le)重複性,確(què)保了高成(chéng)品率。
用矽-藍寶石(shí)半導體(tǐ)敏感元件製造的(de)壓力傳(chuán)感器和變送器,可在最惡(è)劣的(de)工作條件(jiàn)下正常工作,並(bìng)且(qiě)可靠性高(gāo)、精度好(hǎo)、溫度(dù)誤(wù)差極小、性(xìng)價比(bǐ)高。
表壓壓力傳感器和(hé)壓力變(biàn)送(sòng)器由雙膜片構成:鈦(tài)合金測量膜片和鈦合(hé)金接收膜片。印刷(shuā)有異質(zhì)外延性應變靈敏電橋電路的藍(lán)寶石薄片,被焊接(jiē)在鈦合金測量膜(mó)片上(shàng)。被測(cè)壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與(yǔ)測量膜片之間用(yòng)拉杆堅固的連接在一起)。在(zài)壓力(lì)的作用下,鈦合金接收膜片產生形變,該形變被矽-藍(lán)寶(bǎo)石敏(mǐn)感元件感知(zhī)後,其(qí)電橋輸出會發生(shēng)變化,變化的(de)幅度與(yǔ)被(bèi)測(cè)壓力(lì)成(chéng)正(zhèng)比(bǐ)。
傳感器的電路能夠保證應(yīng)變電橋電路(lù)的供電,並將應(yīng)變電(diàn)橋的失(shī)衡信(xìn)號(hào)轉換為統一的電(diàn)信號輸(shū)出(chū)(0-5,4-20mA或0-5V)。在絕(jué)壓(yā)壓力傳(chuán)感器和壓力變送器(qì)中(zhōng),藍寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連(lián)接在一起,起(qǐ)到了彈性元件的(de)作用,將被測壓力轉換(huàn)為(wéi)應變片形變(biàn),從而達到壓(yā)力測量的目的(de)。
5、壓電壓力傳感器原理與應用
壓(yā)電傳感器(qì)中主(zhǔ)要(yào)使用的壓電材(cái)料包括有(yǒu)石英、酒(jiǔ)石酸(suān)鉀鈉和磷酸二氫胺。其(qí)中(zhōng)石(shí)英(二(èr)氧化(huà)矽)是一種天然(rán)晶體,壓電效應就是在這(zhè)種(zhǒng)晶體中發現(xiàn)的,在一定(dìng)的溫(wēn)度範圍之內(nèi),壓電性質一直(zhí)存在,但(dàn)溫度超過(guò)這個範圍之(zhī)後(hòu),壓電性質完全消失(這(zhè)個高溫就是所謂的(de)“居裏點”)。由(yóu)於隨著應力的變化電場變化微小(也就說壓電(diàn)係數比較低(dī)),所(suǒ)以石(shí)英(yīng)逐漸被(bèi)其(qí)他的壓電晶體所替代。而酒(jiǔ)石(shí)酸(suān)鉀鈉具有(yǒu)很(hěn)大的壓電靈(líng)敏度(dù)和(hé)壓電係數,但是它隻能在室溫(wēn)和濕(shī)度(dù)比較低(dī)的環境下才能夠(gòu)應用(yòng)。磷酸二氫胺(àn)屬於人造晶體,能夠承(chéng)受高溫和相當(dāng)高的(de)濕(shī)度,所以已經得到(dào)了廣泛的應用。
現(xiàn)在壓電效應也應用在多晶體(tǐ)上,比如現在的壓電陶瓷,包括鈦(tài)酸鋇壓電陶瓷、PZT、铌酸鹽係壓電陶瓷、铌鎂酸(suān)鉛壓電陶瓷等(děng)等。
壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理(lǐ),壓(yā)電傳感器(qì)不能(néng)用於靜態測量(liàng),因為經過外力作用後的電荷,隻有在(zài)回路具有無限(xiàn)大的輸入阻抗時才(cái)得到保存。實(shí)際的情況不是(shì)這樣的,所(suǒ)以(yǐ)這決定(dìng)了(le)壓電(diàn)傳感器(qì)隻能夠(gòu)測量動態(tài)的應力(lì)。
壓電傳感(gǎn)器主要應用在加速度、壓力(lì)和力等的(de)測量中。壓電式加速度傳感器是(shì)一種常用的(de)加速度計。它(tā)具有結構簡單、體積小、重量輕、使(shǐ)用壽(shòu)命(mìng)長等(děng)優異的特(tè)點(diǎn)。壓電式加速(sù)度傳(chuán)感器在(zài)飛機、汽車(chē)、船舶、橋(qiáo)梁和建築的振(zhèn)動和衝擊測量中已經(jīng)得(dé)到了廣泛的應用,特別(bié)是航空和宇航領(lǐng)域(yù)中更有它的特殊地(dì)位(wèi)。壓電式傳感(gǎn)器也(yě)可以(yǐ)用來(lái)測量發(fā)動機內部(bù)燃燒壓力的測量與真空度的測量。也可以用(yòng)於軍事工業,例如用它來測量槍炮子彈在膛中(zhōng)擊發的一(yī)瞬間的膛壓的變化和炮口的衝擊(jī)波(bō)壓力。它既可(kě)以用來測量(liàng)大的壓力,也可(kě)以用來測量微小的壓力。
壓電式傳感器也廣泛應用在生物醫學(xué)測量中,比如說心室導管式(shì)微(wēi)音器就是由壓電傳感器製成的,因為測量動態壓力(lì)是如此普遍,所以壓電(diàn)傳(chuán)感器的應(yīng)用(yòng)就非常廣(guǎng)泛。
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